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单元名称 |
内容与重点 |
单元目标 （解决问题） |
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一、 |
概述
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1． 为什么要学习比较分析 2． 什么是比较分析 3． 比较分析的流程图 |
• 比较分析概念的理解 • 比较分析的流程图 |
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二、 |
假设检验
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1． 假设检验问题 2． 假设检验的基本步骤 3． P-值¾¾另一个判断准则 |
• 假设检验的理解 |
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三、 |
单个正态均值 μ 的 u 检验 (s 已知)
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1． 单个正态均值 μ 的假设检验 (s 已知) 2． 单个正态均值 μ 的假设检验 (s已知)实例分析 课堂练习一 ——三极管的放大倍数是否降低检验 1． |
• 掌握单个正态均值 μ 的 u 检验 (s 已知) |
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四、 |
单个正态均值 μ 的 t 检验 (s 未知)
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1．单个正态均值 μ 的假设检验 (s未知) 2．单个正态均值 μ 的假设检验 (s未知)实例分析 3．课堂练习二 ——硅片用化学品的储存期限检验 应用Minitab进行实例分析的操作步骤与评判标准 |
• 掌握单个正态均值 μ 的 t 检验 (s 未知) |
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五、 |
单个正态方差s2的 c2 检验
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1．单个正态方差 s 2的假设检验 2．单个正态方差 s 2的假设检验实例分析 课堂练习三 ——等离子体刻蚀器的合格性检验 2． |
• 掌握单个正态方差 s 2的 c2 检验 |
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六、 |
两个正态总体均值 μ 的 u 检验(s已知) |
原假设、备择假设、检验统计量、拒绝域 |
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七、 |
两个正态总体均值 μ 的 t 检验(s 1 = s 2 ，s未知)
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1. 原假设、备择假设、检验统计量、拒绝域 2. 两个正态总体均值 μ 的检验(s1 = s2 ，s 未知)实例分析 3. 课堂练习四 ——两台光刻机工艺的线宽均值有无显著差异 4. 应用Minitab进行实例分析的操作步骤与评判标准 |
• 掌握两个正态总体均值 μ 的 t 检验(s 1 = s 2 ，s 未知) |
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八、 |
两个正态总体均值 μ 的 t 检验(s 1 1 s 2，s 未知) |
1. 原假设、备择假设、检验统计量、拒绝域 |
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九、 |
两个正态方差比较的 F 检验
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1. 两个正态方差 s2的假设检验 2. 两个正态方差 s2的假设检验实例分析 3. 课堂练习五 —— Fab3 LIS05光刻机上线检验 4. 应用Minitab进行实例分析的操作步骤与评判标准 |
• 掌握两个正态方差比较的 F 检验 |
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十、 |
成对数据比较
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1. 成对数据的假设检验 2. 成对数据的假设检验实例分析 3. 成对数据的假设检验二种方法的比较与分析 4. 课堂练习六 ——设备做保养前后有无显著改善检验 5. 应用Minitab进行实例分析的操作步骤与评判标准 |
• 掌握成对数据比较 |
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十一、 |
多组数据比较
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1. 多组数据的假设检验实例分析 2. 课堂练习七 ——多台设备的工艺比较有无显著异常检验 3. 应用Minitab进行实例分析的操作步骤与评判标准 |
• 掌握多组数据比较 |
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十二、 |
练习
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1. 确定C2F4流率对刻蚀硅片的均匀性是否有影响检验 2. 两台用来充装的机器净容量均值检验 3. 等离子体刻蚀器的合格性试验 4. ** 制鞋材料寿命长短的检验实验 |
• 通过练习加深对比较分析的理解 • 通过案例的剖析，掌握解决问题的策略，起到举一反三之功效，提高实战水平 |
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十三． |
***微电子有关比较最新成果阅读材料
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1. 样本与置信区间 2. 独立性问题探讨 3. Box-Cox Transformations问题 4. 非参数统计方法 5. Graph Minimum Difference Detectable Delta for Various Sample Size 6. Graph of Mean for Various Sample Sizes 7. Graph of Variance for Various Sample Sizes 8. Sameness1, Sameness 2 |
• 扩展学员的知识视野，针对未来的世界增添信心 |