課程大綱:
單元名稱
內容與重點
單元目標
(解決問題)
一、
概述
1. 為什麼要學習比較分析
2. 什麼是比較分析
3. 比較分析的流程圖
• 比較分析概念的理解
• 比較分析的流程圖
二、
假設檢驗
1. 假設檢驗問題
2. 假設檢驗的基本步驟
3. P-值¾¾另一個判斷準則
• 假設檢驗的理解
三、
單個正態均值 μ 的 u 檢驗 (s 已知)
1. 單個正態均值 μ 的假設檢驗 (s 已知)
2. 單個正態均值 μ 的假設檢驗 (s已知)實例分析
課堂練習一 ——三極管的放大倍數是否降低檢驗
1.
• 掌握單個正態均值μ 的 u 檢驗 (s 已知)
四、
單個正態均值 μ 的 t 檢驗 (s 未知)
1.單個正態均值 μ 的假設檢驗 (s未知)
2.單個正態均值 μ 的假設檢驗 (s未知)實例分析
3.課堂練習二 ——矽片用化學品的儲存期限檢驗
應用Minitab進行實例分析的操作步驟與評判標準
• 掌握單個正態均值, μ 的 t 檢驗 (s 未知)
五、
單個正態方差s2的 c2 檢驗
1.單個正態方差 s 2的假設檢驗
2.單個正態方差 s 2的假設檢驗實例分析
課堂練習三 ——等離子體刻蝕器的合格性檢驗
2.
• 掌握單個正態方差s 2的 c2 檢驗
六、
兩個正態總體均值 μ 的 u 檢驗(s已知)
原假設、備擇假設、檢驗統計量、拒絕域
七、
兩個正態總體均值 μ 的 t 檢驗(s 1 = s 2 ,s未知)
1. 原假設、備擇假設、檢驗統計量、拒絕域
2. 兩個正態總體均值 μ 的檢驗(s1 = s2 ,s 未知)實例分析
3. 課堂練習四 ——兩台光刻機工藝的線寬均值有無顯著差異
4. 應用Minitab進行實例分析的操作步驟與評判標準
• 掌握兩個正態總體均值 μ 的 t 檢驗(s 1 = s 2 ,s 未知)
八、
兩個正態總體均值 μ 的 t 檢驗(s 1 1 s 2,s未知)
1. 原假設、備擇假設、檢驗統計量、拒絕域
九、
兩個正態方差比較的 F 檢驗
1. 兩個正態方差 s2的假設檢驗
2. 兩個正態方差, s2的假設檢驗實例分析
3. 課堂練習五 —— Fab3 LIS05光刻機上線檢驗
4. 應用Minitab進行實例分析的操作步驟與評判標準
• 掌握兩個正態方差比較的 F 檢驗
十、
成對資料比較
1. 成對資料的假設檢驗
2. 成對資料的假設檢驗實例分析
3. 成對資料的假設檢驗二種方法的比較與分析
4. 課堂練習六 ——設備做保養前後有無顯著改善檢驗
5. 應用Minitab進行實例分析的操作步驟與評判標準
• 掌握成對資料比較
十一、
多組資料比較
1. 多組資料的假設檢驗實例分析
2. 課堂練習七 ——多台設備的工藝比較有無顯著異常檢驗
3. 應用Minitab進行實例分析的操作步驟與評判標準
• 掌握多組資料比較
十二、
練習
1. 確定C2F4流率對刻蝕矽片的均勻性是否有影響檢驗
2. 兩台用來充裝的機器淨容量均值檢驗
3. 等離子體刻蝕器的合格性試驗
4. ** 制鞋材料壽命長短的檢驗實驗
• 通過練習加深對比較分析的理解
• 通過案例的剖析,掌握解決問題的策略,起到舉一反三之功效,提高實戰水準
十三.
***微電子有關比較最新成果閱讀材料
1. 樣本與置信區間
2. 獨立性問題探討
3. Box-Cox Transformations問題
4. 非參數統計方法
5. Graph Minimum Difference Detectable Delta for Various Sample Size
6. Graph of Mean for Various Sample Sizes
7. Graph of Variance for Various Sample Sizes
8. Sameness1, Sameness 2
• 擴展學員的知識視野,針對未來的世界增添信心